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题名/责任者:

微光机电系统/(美)莫塔麦迪(Manouchehr E. Motamedi)著 周海宪, 程云芳译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2010

ISBN及定价:

978-7-118-06365-3/CNY68.00

载体形态项:

xviii, 510页:图;23cm

并列正题名:

= Micro-opto-electro-mechanical systems

个人责任者:

(美) 莫塔麦迪 (Motamedi, Manouchehr E.) 著

个人次要责任者:

周海宪 译

个人次要责任者:

程云芳 译

学科主题:

微光技术-应用-机电系统

学科主题:

微光技术

学科主题:

机电系统

中图法分类号:

TH-39

责任者附注:

责任者Motamedi规范汉译姓: 莫塔麦迪

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书首先介绍集成电路的短暂历史和微加工的发展, 然后对MEMS和微光学以及两种技术组合的发展潜力进行回顾和评述。

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