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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：41

题名/责任者:
RF MEMS器件与技术/郭兴龙编著
出版发行项:
镇江:江苏大学出版社,2021
ISBN及定价:
978-7-5684-1723-5/CNY48.00
载体形态项:
175页:图;26cm
并列正题名:
RF MEMS devices and technology
个人责任者:
郭兴龙 编著
学科主题:
微机电系统-元器件
学科主题:
微机电系统-技术
中图法分类号:
TN4
中图法分类号:
TN6
提要文摘附注:
本书共11章,内容包括：微机电系统力学基础、MEMS工艺、RF MEMS 器件设计微波基础、微机电系统材料等。
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索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态 还书位置
TN4/54 S3890521   总馆—滁州校区自然书库     可借 滁州校区自然书库
TN4/54 S3890522   总馆—滁州校区自然书库     可借 滁州校区自然书库
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