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题名/责任者:

微电子机械系统力学性能及尺寸效应/刘凯, 韩光平著

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-111-25575-8/CNY30.00

载体形态项:

xi, 209页:图;21cm

个人责任者:

刘凯 著

个人责任者:

韩光平 著

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN405

书目附注:

有书目 (第192-209页)

提要文摘附注:

全书共分9章，分析了MEMS的特征及其近期发展；详细分析了尺寸效应的内涵；建立尺寸效应泛函的分析模型；研究了单晶硅微桥式梁弯曲强度的尺寸效应及分布规律，建立QFD/TRIZ/FuzzY集成技术模型；研究MEMS残余应力；对静电致动微泵的结构建立数学分析模型和有限元分析；对微机械振动式陀螺的动力学特性进行了分析，得到了微机械陀螺驱动模态固有频率和检测模态固有频率随其主要结构尺寸变化的规律。

使用对象附注:

高等院校机电专业的教师和研究生，从事MEMS研究的工程技术人员。

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