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题名/责任者:

微米加工与纳米制造/(美) 马克 J. 杰克逊主编 缪旻, 张月霞, 李振松译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-111-51482-4/CNY128.00

载体形态项:

xxi, 375页:图;24cm

统一题名:

Microfabrication and nanomanufacturing

丛编项:

国际制造业先进技术译丛

个人责任者:

(美) 杰克逊 (Jackson, Mark J.) 主编

个人次要责任者:

缪旻, 1973- 译

个人次要责任者:

张月霞, 1978- 译

个人次要责任者:

李振松, 1982- 译

学科主题:

纳米材料-新技术应用

学科主题:

纳米材料

学科主题:

新技术应用

中图法分类号:

TB383

出版发行附注:

本书中文简体翻译版授权由机械工业出版社独家出版并在限在中国大陆地区销售

相关题名附注:

英文题名原文取自版权页

责任者附注:

Mark J. Jackson, 现任美国Purdue大学机械工程专业副教授。缪旻, 1973年11月出生。2004年12月毕业于北京大学微电子学研究院。张月霞, 1978年10月出生, 2008年9月毕业于北京邮电大学通信工程学院。李振松, 1982年3月出生。2008年4月毕业于北京邮电大学信息与通信工程学院。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书较为系统地梳理了微米加工 (特别是非硅基加工) 技术以及纳米加工手段, 结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例, 阐释了这些技术的原理和特点, 提出了特点问题的高效率解决方案, 给出了工艺设计方面的指南, 并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。

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