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题名/责任者:

MEMS系统级建模/(德)塔玛拉·贝克唐德(Tamara Bechtold)，(德)加布里尔·施拉格(Gabriele Schrag)，冯丽红著 周再发，李伟华，黄庆安译

出版发行项:

南京:东南大学出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-5641-7263-3/CNY89.00

载体形态项:

11,12,442页:图，照片;24cm

并列正题名:

System-level modeling of MEMS

丛编项:

微纳系统系列译丛

个人责任者:

(德) 贝克唐德 (Bechtold, Tamara) 著

个人责任者:

(德) 施拉格 (Schrag, Gabriele) 著

个人责任者:

冯丽红 著

个人次要责任者:

周再发 译

个人次要责任者:

李伟华 译

个人次要责任者:

黄庆安 译

学科主题:

微机电系统-系统建模

中图法分类号:

TH-39

提要文摘附注:

本书介绍宏模型建模技术的理论基础、不同建模方法在具体问题中的应用以及所提供方法在商业化软件环境中的已有实现途径。全书共五部分，内容包括：物理和数学基础、MEMS器件的集总单元建模方法、MEMS器件的数学模型降阶、完整微系统建模、软件实现。

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