MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：27
- 题名/责任者:
- 有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法/刘杨, 付雪微著
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工程大学出版社,2019.10
- ISBN及定价:
- 978-7-5661-1713-7/CNY35.00
- 载体形态项:
- 73页:图;26cm
- 个人责任者:
- 刘杨 著
- 个人责任者:
- 付雪微 著
- 学科主题:
- 直线电机-推力-波动力学-研究
- 中图法分类号:
- TM359.4
- 一般附注:
- 黑龙江省优秀学术著作出版资助项目
- 书目附注:
- 有书目 (第71-73页)
- 提要文摘附注:
- 本文以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景，针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题，进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。
- 使用对象附注:
- 从事精密机电系统研发的科研人员。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TM359.4/4 | S3295656 | - | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 |
| TM359.4/4 | S3295657 | - | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 |
| TM359.4/4 | S3295658 | - | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 |
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