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题名/责任者:

晶圆制造自动化物料运输系统调度:英文版/张洁等著

出版发行项:

武汉:华中科技大学出版社,2018

ISBN及定价:

978-7-5680-4787-6 精装/CNY88.00

载体形态项:

272页:图;24cm

并列正题名:

Wafer fabrication automated material handling systems

个人责任者:

张洁 著

学科主题:

半导体工艺-自动化系统-物料输送系统-研究-英文

中图法分类号:

TN305

题名责任附注:

200字段信息取自版权页

出版发行附注:

本书限中国大陆发行

提要文摘附注:

本书在系统全面介绍制造系统中的多种复杂调度问题的基础上,重点介绍了分别面向不同调度问题的智能化调度方法,具体包括非等效并行机智能调度方法、非等效并行机作业车间智能调度方法、面向多工艺路线非等效并行机作业车间智能调度方法、非等效并行机流水车间智能调度方法以及混流装配线智能调度方法。

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