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题名/责任者:

射频等离子体物理学/(法)帕斯卡·夏伯特,(英)尼古拉斯·布雷斯韦特著 王友年,徐军,宋远红译

出版发行项:

北京:科学出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-03-045919-0/CNY128.00

载体形态项:

321页:图;24cm

并列正题名:

Physics of radio-frequency plasmas

丛编项:

现代应用物理学丛书

个人责任者:

夏伯特 (Chabert, Pascal) 著

个人责任者:

布雷斯韦特 (Braithwaite, Nicholas) 著

个人次要责任者:

王友年 译

个人次要责任者:

徐军 译

个人次要责任者:

宋远红 译

学科主题:

射频-等离子体物理学

中图法分类号:

O53

相关题名附注:

版权页英文题名:Physics of radio-frequency plasmas

提要文摘附注:

本书针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工)，介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合)及其关联性。

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