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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：14

题名/责任者:
硅加工中的表征/C. Richard Brundle，Charles A. Evans, Jr.[主编]
出版发行项:
哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2014.1
ISBN及定价:
978-7-5603-4280-1/CNY88.00
载体形态项:
15,240页;23cm
并列正题名:
Characterization in silicon processing
丛编项:
材料表征原版系列丛书
个人责任者:
埃文斯 主编
个人责任者:
布伦德尔 主编
学科主题:
硅-半导体工艺-研究-英文
中图法分类号:
TN305
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索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态 还书位置
TN305/5 S2354126   总馆—自然书库（凤阳）     可借
TN305/5 S2354127   总馆—自然书库（凤阳）     可借
TN305/5 S2354128   总馆—自然书库（凤阳）     可借 流通典藏部
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