MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统/(英)张(Rebecca Cheung)著 王晓浩, 唐飞, 王文弢译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-03-026862-4/CNY35.00
- 载体形态项:
- 121页:图;24cm
- 丛编项:
- 微纳技术著作丛书
- 个人责任者:
- (英) 张 (Cheung, Rebecca) 著
- 个人次要责任者:
- 王晓浩 译
- 个人次要责任者:
- 唐飞 译
- 个人次要责任者:
- 王文弢 译
- 学科主题:
- 半导体材料-微电子技术-研究
- 学科主题:
- 半导体材料
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN304
- 责任者附注:
- 责任者Cheung规范汉译姓: 张
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等, 越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注, 不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。本书是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作, 本书系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状, 汇聚了作者大量的经验和智慧。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TN304/4 | S1705092 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304/4 | S1705093 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304/4 | S1705094 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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