题名	责任者	出版社	索书号
RF MEMS应用指南	(美) Vijay K.Varadan, K. J.Vinoy, K. A.Jose著	电子工业出版社	TM38-62/4
实用微电机手册	国家机械工业局西安微电机研究所编	辽宁科学技术出版社	TM38-62/2