题名	责任者	出版社	索书号
微机械光子学:.影印版	H. Ukita	科学出版社	TM38/8
微机电系统设计与制造:	刘晓明，朱钟淦编著	国防工业出版社	TM38/6
MEMS强链及其应用:	陈文元, 张卫平著	科学出版社	TM38/7
RF MEMS应用指南	(美) Vijay K.Varadan, K. J.Vinoy, K. A.Jose著	电子工业出版社	TM38-62/4
交流伺服运动控制系统:.1	舒志兵等编著	清华大学出版社	TM383.402/1
实用微电机手册	国家机械工业局西安微电机研究所编	辽宁科学技术出版社	TM38-62/2
微特电机应用技术手册	王季秩, 贡俊, 顾鸿祥主编	上海科学技术出版社	TM38-62/3
微机电系统工程基础	王琪民, 刘明侯, 秦丰华编著	中国科学技术大学出版社	TM38/10
超声波电机原理与设计	胡敏强, 金龙, 顾菊平编著	科学出版社	TM38/3
伺服系统与机床电气控制	李清新主编	机械工业出版社	TM383.4/1